一、产品概述

产品名称：电子级双氧水

产品简介：电子级双氧水是一种无色的液体和强氧化剂，应用于微电子制程加工工艺中, 是大规模集成电路生产工艺中所必需的电子化工原料。按不同的配方，与氨水、盐酸或硫酸等混合调配成AMP、HPM、SPM等清洗化学品，可用于多晶制绒、半导体硅晶片清洗、蚀刻和光刻胶去除工艺。产品纯度可达到半导体设备与材料国际制订SEMIC19-90标准和SEMIC75-93标准，达到国内领先水平和国际同类先进技术水平。

二、产品参数

检测项目	单位	规格
Assay（H2O2）	%	30.0~32.0
色度（Color）	APHA	5max
Cl-	ppb	30 max
PO4-	ppb	30 max
SO42-	ppb	30 max
NO3-	ppb	30 max
金属离子	ppt	10 max
Particle 0.1 micron	pcs/mL	100 max
Particle 0.04 micron	pcs/mL	2000 max