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一、产品概述 名称：硼磷硅玻璃材料 简介：BPSG材料是有机磷、硼化合物，包括：TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO 性质：均为无色有刺激性气味的液体。 应用：用于晶圆制造过程中与TEOS混合，通过CVD工艺沉积:PSG（磷玻璃）及BPSG（硼磷硅玻璃）。
一、产品概述
名称：硼磷硅玻璃材料
简介：BPSG材料是有机磷、硼化合物，包括：TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO
性质：均为无色有刺激性气味的液体。
应用：用于晶圆制造过程中与TEOS混合，通过CVD工艺沉积:PSG（磷玻璃）及BPSG（硼磷硅玻璃）。
电话：0519-82663391邮箱：sales@wowmaterials.com
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