一、产品概述

名称：电子级亚磷酸三甲酯(TMP)

简介：无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/mL。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。

二、应用领域

主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

三、指标

分析项目	技术指标	技术指标
	8.5N	9N
纯度，min	99.9999995%	99.9999999%
B ，max	50  ppb	50  ppb
Cl-，max	50  ppb	50  ppb
水分，max	25  ppm	25  ppm
颗粒数≥0.2µm，max	10 p/ml	10 p/ml
颗粒数≥0.3µm，max	7 p/ml	7 p/ml
颗粒数≥0.5µm，max	5 p/ml	5 p/ml
颗粒数≥1.0µm，max	1 p/ml	1 p/ml
主含量，min	99.99%	99.99%
色度，max	5APHA	5APHA