一、产品概述
名称:电子级三氯氧磷
简介:无色透明挥发性液体,具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中,生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃,沸点为105.1℃,密度为1.675 g/mL。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时,仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
二、用途领域
主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,是芯片制程中必须的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
三、指标
分析项目
技术指标
分析项目
技术指标
6N
7N
6N
7N
Al,max
40 ppb
5 ppb
Li,max
10 ppb
6 ppb
As,max
30 ppb
6 ppb
Mg,max
20 ppb
5 ppb
Ag,max
1 ppb
1 ppb
Mn,max
30 ppb
1 ppb
Au,max
1 ppb
1 ppb
Na,max
10 ppb
5 ppb
Ba,max
20 ppb
1 ppb
Nb, max
2 ppb
1 ppb
Bi,max
10 ppb
1 ppb
Ni,max
20 ppb
1 ppb
Ca,max
30 ppb
5 ppb
Pb,max
10 ppb
3 ppb
Co,max
20 ppb
1 ppb
Sn,max
5 ppb
1 ppb
Cu,max
20 ppb
2 ppb
Sr,max
5 ppb
1 ppb
Cr,max
20 ppb
1 ppb
Ti,max
5 ppb
2 ppb
Fe,max
40 ppb
5 ppb
Zn,max
5 ppb
1 ppb
Ga,max
1 ppb
1 ppb
主含量,min
99.9%
99.9%
Hg,max
10 ppb
5 ppb
色度,max
5APHA
5APHA
K,max
30 ppb
3 ppb
颗粒数≥0.3μm,max
50p/ml
50p/ml
- 1: 产品名称:电子级三氯氧磷
- 2: 外观:无色透明挥发性液体
- 3: 分子式:POCl3
电话:0519-82663391
邮箱:sales@wowmaterials.com