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电子级三氯氧磷
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  • 商品货号:ECS003407
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一、产品概述

名称:电子级三氯氧磷

简介:无色透明挥发性液体,具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中,生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃,沸点为105.1℃,密度为1.675 g/mL。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时,仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。

二、用途领域

主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,是芯片制程中必须的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。

三、指标

分析项目

技术指标

分析项目

技术指标

 

6N

7N

 

 

6N

7N

 

Al,max

40 ppb

5 ppb

Li,max

10 ppb

6 ppb

As,max

30 ppb

6 ppb

Mg,max

20 ppb

5 ppb

Ag,max

1 ppb

1 ppb

Mn,max

30 ppb

1 ppb

Au,max

1 ppb

1 ppb

Na,max

10 ppb

5 ppb

Ba,max

20 ppb

1 ppb

Nb, max

2 ppb

1 ppb

Bi,max

10 ppb

1 ppb

Ni,max

20 ppb

1 ppb

Ca,max

30 ppb

5 ppb

Pb,max

10 ppb

3 ppb

Co,max

20 ppb

1 ppb

Sn,max

5 ppb

1 ppb

Cu,max

20 ppb

2 ppb

Sr,max

5 ppb

1 ppb

Cr,max

20 ppb

1 ppb

Ti,max

5 ppb

2 ppb

Fe,max

40 ppb

5 ppb

Zn,max

5 ppb

1 ppb

Ga,max

1 ppb

1 ppb

主含量,min

99.9%

99.9%

Hg,max

10 ppb

5 ppb

色度,max

5APHA

5APHA

K,max

30 ppb

3 ppb

颗粒数≥0.3μm,max

50p/ml

50p/ml

 

  • 1: 产品名称:电子级三氯氧磷
  • 2: 外观:无色透明挥发性液体
  • 3: 分子式:POCl3

 

电话:0519-82663391
邮箱:sales@wowmaterials.com

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