一、产品概述

名称：电子级硼酸三甲酯(TMB)

简介：无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/mL，沸点67～68℃。易燃，与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能与有机溶剂混溶。

二、应用领域

主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

三、指标

分析项目	技术指标
	8.5N
纯度，min	99.9999995%
Cl- ，max	50 ppb
水分 ，max	20 ppm
颗粒数≥0.2µm，max	10  p/ml
颗粒数≥0.3µm，max	7  p/ml
颗粒数≥0.5µm，max	5  p/ml
颗粒数≥1.0µm，max	1  p/ml
主含量，min	99.99 %
色度，max	5APHA