一、产品概述

名称：电子级磷酸三乙酯( TEPO )

简介：无色透明液体。易溶于乙醇，溶于乙醚、苯等有机溶剂，也溶于水。熔点-56.4℃，沸点215℃，密度1.07 g/mL。正常状况下稳定，遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。

二、应用领域

晶圆制造过程中沉积生成磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

三、指标

分析项目	技术指标
纯度，min	99.9999995%（8.5N）
B，max	0.5 ppb
Cl-，max	50 ppb
主含量，min	99.99%
水分，max	20 ppm
色度，max	5 APHA
颗粒数≥0.2µm，max	10  p/ml
颗粒数≥0.3µm，max	7  p/ml
颗粒数≥0.5µm，max	5  p/ml
颗粒数≥1.0µm，max	1  p/ml

 

19升