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一、产品概述 名称：四（二甲基胺基）钛（TDMAT） 二、理化性质 黄色液体，熔点＜4℃，沸点50℃，密度0.947g/ml。高度易燃液体和蒸汽，接触水释放可自燃的易燃气体。 三、用途 TDMAT是集成电路制作所需的电子化学品，主要用于集成电路制造过程中的化学气相沉积（CVD），用于生成氮化钛薄膜。
一、产品概述
名称：四（二甲基胺基）钛（TDMAT）
二、理化性质
黄色液体，熔点＜4℃，沸点50℃，密度0.947g/ml。高度易燃液体和蒸汽，接触水释放可自燃的易燃气体。
三、用途
TDMAT是集成电路制作所需的电子化学品，主要用于集成电路制造过程中的化学气相沉积（CVD），用于生成氮化钛薄膜。
1： 名称：四（二甲基胺基）钛（TDMAT） 2： 分子式：C8H24N4TI 3： 分子量：224.17
电话：0519-82663391邮箱：sales@wowmaterials.com
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