一、产品概述

产品名称：电子级六氟化硫

产品简介：常温常压下为液态，它是一种无色、无臭、无毒、无腐蚀性的气体。熔点-50℃，升华点或沸点为-63.8℃，气体密度6.16g/L(20℃，0.1MPa)，在熔点时密度为2.51g/cm3，具有高的绝缘性和灭弧能力。

分子式：SF6
分子量：146.05

 

二、产品参数

项目	参数
六氟化硫(SF6)含量（体积分数）/10-2	≥99.999
（氧+氩）（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6	≤2.0
氮（N2）含量（体积分数）/10-6	≤2.0
四氟化碳(CF4)含量（体积分数）/10-6	≤1.0
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6	≤0.5
二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6	≤0.5
甲烷(CH4) 含量（体积分数）/10-6	≤0.5
水分(H2O)的（体积分数）/10-6	≤3.0
酸度（以HF计）的质量分数/10-6	≤0.1
可水解氟化物（以HF计）的质量分数/10-6	≤0.8
杂质综合的体积分数/10-6	≤10
颗粒	由供需双方商定

 

三、产品应用

六氟化硫﹙SF6﹚是一优良的惰性绝缘气体，电子工业用六氟化硫气体大量用于在电子器件表面清洗、在TFT行业中应用量大。

 

四、注意事项

贮存：应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。