85 说明LPCVD氮化硅镀膜

请问大家,有没有设备或生产线可以做LPCVD氮化硅镀膜?                   
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最佳答案

可以做,有lpcvd、pecvd、ebeam、sputter,简直幸福

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1 个回答

和尚洗头用飘柔

可以做,有lpcvd、pecvd、ebeam、sputter,简直幸福

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  • AX殇落 提出于 2021-06-29 14:12:08