制备好的TEM样品必须对电子束透明，大多数情况下，都希望样品均匀减薄，在电子束照射下稳定，具有良好的导电性并且不带磁性，但事实上很多样品并不能全部满足这些条件，因此需采取各种方法来使其达到要求。普通样品一般是放在支撑环或者薄垫圈上，而较为复杂的自支撑样品则需要进行减薄等前处理，处理费用往往远高于电镜观察费用。