一、产品概述
产品名称:电子级双氧水
产品简介:电子级双氧水是一种无色的液体和强氧化剂,应用于微电子制程加工工艺中, 是大规模集成电路生产工艺中所必需的电子化工原料。按不同的配方,与氨水、盐酸或硫酸等混合调配成AMP、HPM、SPM等清洗化学品,可用于多晶制绒、半导体硅晶片清洗、蚀刻和光刻胶去除工艺。产品纯度可达到半导体设备与材料国际制订SEMIC19-90标准和SEMIC75-93标准,达到国内领先水平和国际同类先进技术水平。
二、产品参数
检测项目
单位
规格
Assay(H2O2)
%
30.0~32.0
色度(Color)
APHA
5max
Cl-
ppb
30 max
PO4-
ppb
30 max
SO42-
ppb
30 max
NO3-
ppb
30 max
金属离子
ppt
10 max
Particle 0.1 micron
pcs/mL
100 max
Particle 0.04 micron
pcs/mL
2000 max
电话:0519-82663391
邮箱:sales@wowmaterials.com