一、产品概述
名称:正硅酸四乙酯(TEOS)
简介:无色透明液体,熔点-77℃,沸点169℃,密度0.9346g/mL。它对空气较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。
二、应用领域
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。
三、指标
分析项目
技术指标
技术指标
8N
9N
纯度,min
99.999999%
99.9999999%
主含量,min
99.99%
99.99%
硼,max
0.5 ppb
0.5 ppb
Cl-,max
0.5 ppm
0.05 ppm
水分,max
5 ppm
5 ppm
乙醇含量,max
3 ppm
3 ppm
颗粒数≥0.1µm,max
50 p/ml
50 p/ml
颗粒数≥0.2µm,max
30 p/ml
10 p/ml
颗粒数≥0.3µm,max
20 p/ml
7 p/ml
颗粒数≥0.5µm,max
10 p/ml
5 p/ml
颗粒数≥1.0µm,max
3 p/ml
1 p/ml
色度,max
10 APHA
10 APHA
- 1: 产品名称:正硅酸四乙酯(TEOS)
- 2: 分子式:Si(C2H5O)4
- 3: 分子量:208.33
电话:0519-82663391
邮箱:sales@wowmaterials.com