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正硅酸四乙酯(TEOS)
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  • 商品货号:ECS003383
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一、产品概述

名称:正硅酸四乙酯(TEOS)

简介:无色透明液体,熔点-77℃,沸点169℃,密度0.9346g/mL。它对空气较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。

二、应用领域

主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。

三、指标

分析项目

技术指标

技术指标

 

8N

9N

纯度,min

99.999999%

99.9999999%

主含量,min

99.99%

99.99%

硼,max

0.5 ppb

0.5 ppb

Cl-max

0.5 ppm

0.05 ppm

水分,max

5 ppm

5 ppm

乙醇含量,max

3 ppm

3 ppm

颗粒数≥0.1µmmax

50 p/ml

50 p/ml

颗粒数≥0.2µmmax

30 p/ml

10 p/ml

颗粒数≥0.3µmmax

20 p/ml

7 p/ml

颗粒数≥0.5µmmax

10 p/ml

5 p/ml

颗粒数≥1.0µmmax

3 p/ml

1 p/ml

色度,max

10 APHA

10 APHA

  • 1: 产品名称:正硅酸四乙酯(TEOS)
  • 2: 分子式:Si(C2H5O)4
  • 3: 分子量:208.33

 

电话:0519-82663391
邮箱:sales@wowmaterials.com

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