一、产品概述

名称：电子级硼酸三乙酯( TEB )

简介：无色透明液体,有轻度气味,有显著的热稳定性。密度0.86 g/mL，熔点-84.8℃，沸点118℃。易吸湿，遇水易分解成乙醇和硼酸。易燃。

二、应用领域

主要用于晶圆制造过程中沉积生成硼磷硅玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

三、指标

分析项目	技术指标
氯化物，max	50 ppb
水分，max	20 ppm
颗粒数≥0.2µm，max	10  p/ml
颗粒数≥0.3µm，max	7  p/ml
颗粒数≥0.5µm，max	5  p/ml
颗粒数≥1.0µm，max	1  p/ml
主含量，min	99.99%
色度，max	5 APHA
纯度，min	99.9999995%（8.5N）