一、产品概述

名称：电子级反式-1，2-二氯乙烯(DCE)

简介：无色略带刺激气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.256g/mL。易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。

二、应用领域

高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时，反式-1，2-二氯乙烯是目前已知的最佳氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO2等。产生的HCl与金属原子反应后被气体带走，达到清洗管道的目的。

三、指标

分析项目	技术指标
	7.5N
纯度，min	99.999995%
Si，max	0.3 ppb
B，max	0.3 ppb
P，max	0.3 ppb
酸度，max	0.38 ppm
水分，max	12.85 ppm
主含量，min	99.97%
颗粒数≥0.1μm，max	0.97 p/ml
颗粒数≥0.2μm，max	0.3 p/ml
颗粒数≥0.5μm，max	0.3 p/ml
色度，max	10APHA