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一、产品概述 名称：六甲基二硅氮烷（HMDS） 二、理化性质 无色透明液体，无气味，密度0.774g/ml，熔点-78℃。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。溶于多数有机溶剂。 三、用途 半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。在提升光刻胶的粘附性工艺中，作为粘接剂使用，并发挥疏水改性的作用。
一、产品概述
名称：六甲基二硅氮烷（HMDS）
二、理化性质
无色透明液体，无气味，密度0.774g/ml，熔点-78℃。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。溶于多数有机溶剂。
三、用途
半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。在提升光刻胶的粘附性工艺中，作为粘接剂使用，并发挥疏水改性的作用。
1： 名称：六甲基二硅氮烷（HMDS） 2： 分子式：C6H19NSi2 3： 分子量：161.39
电话：0519-82663391邮箱：sales@wowmaterials.com
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