一、产品概述
名称：四甲基硅烷
二、理化性质
无色易挥发性液体，熔点-27℃，沸点26-28℃，密度0.648g/ml。不溶于水，可与饱和链经和芳香碳氢化合物混溶。极端易燃液体，其蒸气与空气混合，能形成爆炸性混合物。
三、用途
4MS是集成电路制造所需的电子化学品，主要用于集成电路制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成含碳氮化硅薄膜。
- 1： 名称：四甲基硅烷
- 2： 分子式：C4H12Si
- 3： 分子量：88.22
- 4： 主含量：99.9%
- 5： 水分：25ppm
- 6： 色度：10APHA
- 7： 纯度：99.99999%
电话：0519-82663391
邮箱：sales@wowmaterials.com
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