一、产品概述
产品名称:电子级六氟化硫
产品简介:常温常压下为液态,它是一种无色、无臭、无毒、无腐蚀性的气体。熔点-50℃,升华点或沸点为-63.8℃,气体密度6.16g/L(20℃,0.1MPa),在熔点时密度为2.51g/cm3,具有高的绝缘性和灭弧能力。
分子式:SF6
分子量:146.05
二、产品参数
项目
参数
六氟化硫(SF6)含量(体积分数)/10-2
≥99.999
(氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6
≤2.0
氮(N2)含量(体积分数)/10-6
≤2.0
四氟化碳(CF4)含量(体积分数)/10-6
≤1.0
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6
≤0.5
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6
≤0.5
甲烷(CH4) 含量(体积分数)/10-6
≤0.5
水分(H2O)的(体积分数)/10-6
≤3.0
酸度(以HF计)的质量分数/10-6
≤0.1
可水解氟化物(以HF计)的质量分数/10-6
≤0.8
杂质综合的体积分数/10-6
≤10
颗粒
由供需双方商定
三、产品应用
六氟化硫﹙SF6﹚是一优良的惰性绝缘气体,电子工业用六氟化硫气体大量用于在电子器件表面清洗、在TFT行业中应用量大。
四、注意事项
贮存:应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。
电话:0519-82663391
邮箱:sales@wowmaterials.com