一、产品概述
产品名称:三硅化五钛
产品简介:Ti5Si3具有熔点高(2130℃)、密度低(4.65g/cm3)及优异的高温性能如高的高温硬度、良好的高温稳定性、抗氧化性,能有希望用于1300℃以上的高温结构材料。Ti5Si3的熔点与高温结构陶瓷相接近甚至更高,但其密度却远低于一些高温结构陶瓷与高温合金,与钛合金相当,具备了在高温下使用的潜力。另外,由于其电阻和热阻均较低,Ti5Si3也有希望用于电气连接结构和扩散阻挡层。
产品应用:三硅化五钛被广泛应用于金属氧化物半导体(MOS)、金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)和动态随机存储器(DRAM)的门、源/漏极、互联和欧姆接触的制造当中。
二、产品参数
产品名称
三硅化五钛
CAS
12067-57-1
分子式
Ti5Si3
分子量
323.59
外观
灰黑色金属粉末
熔点
2130℃
密度
4.39g/cm³
- 1: 产品名称:三硅化五钛
- 2: CAS:12067-57-1
- 3: 分子式:Ti5Si3
- 4: 分子量:323.59
- 5: 外观:灰黑色金属粉末
- 6: 熔点:2130℃
- 7: 密度:4.39g/cm³
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