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Ti5Si3
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 一、产品概述

产品名称:三硅化五钛

产品简介:Ti5Si3具有熔点高(2130℃)、密度低(4.65g/cm3)及优异的高温性能如高的高温硬度、良好的高温稳定性、抗氧化性,能有希望用于1300℃以上的高温结构材料。Ti5Si3的熔点与高温结构陶瓷相接近甚至更高,但其密度却远低于一些高温结构陶瓷与高温合金,与钛合金相当,具备了在高温下使用的潜力。另外,由于其电阻和热阻均较低,Ti5Si3也有希望用于电气连接结构和扩散阻挡层。

产品应用:三硅化五钛被广泛应用于金属氧化物半导体(MOS)、金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)和动态随机存储器(DRAM)的门、源/漏极、互联和欧姆接触的制造当中。

  

 二、产品参数

产品名称

三硅化五钛

CAS

12067-57-1

分子式

Ti5Si3 

分子量

323.59

外观

灰黑色金属粉末

熔点

2130℃

密度

4.39g/cm³

 

  • 1: 产品名称:三硅化五钛
  • 2: CAS:12067-57-1
  • 3: 分子式:Ti5Si3
  • 4: 分子量:323.59
  • 5: 外观:灰黑色金属粉末
  • 6: 熔点:2130℃
  • 7: 密度:4.39g/cm³

 

电话:0519-82663391
邮箱:sales@wowmaterials.com

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