一、产品概述
名称：AlN晶体
简介：AlN单晶衬底是一种具有特殊性能的宽禁带半导体材料
二、产品规格
常规晶向：C平面（0001
晶向公差：±1°
常规尺寸：10x10x0.45mm±50μm、5x5x0.45mm±50μm
抛光情况：双抛
抛光面粗糙度：Al面：CMP抛光（RMS<0.8nm） N面：光学抛光（RMS <3nm）
- 1： 产品名称：AlN晶体
- 2： 晶体结构： 立方晶系
- 3： 晶格常数： a=3.112Å； C=4.982Å
- 4： 密度：3.23g/cm3
- 5： 可用区域： > 80％
- 6： 热导率： 285W/mk
- 7： EPD： <1E5 cm-2
- 8： 吸收系数： <80 cm-1
电话：0519-82663391
邮箱：sales@wowmaterials.com
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