第一，由于 UPS 测量中光激发电子的动能在 0-20eV 范围，在此能量区间的电子逃逸深度较小，且随能量急剧变化，材料表面的

导电性、污染程度和粗糙度等因素会对测量结果产生较大影响，轻则导致谱图的峰位移动和峰形变化，重则导致无信号。UPS 适用于分析表面均匀洁净的导体以及导电性较好的半导体薄膜材料。对于合成的粉末样品，影响因素较多，UPS 测试存在一定风险 ；

第二，UPS 测试过程中，紫外光的扫描范围仅为样品中的某个微小区域，如果样品制备不均匀，或者测试区域恰好条件不佳，也可能会影响测试结果。